Mikroteknologi adalah teknologi dengan ciri mendekati ukuran skala satu mikrometer. Di tahun 1960, para ilmuwan mencari tahu bagaimana cara menyusun sejumlah besar transistor dalam satu buah chip. Chip ini kemudian dapat dibuat dalam sirkuit mikroelektronik yang secara dramatis dapat meningkatkan performa, fungsi, kemampuan, dan juga mengurangi biaya serta meningkatkan volume produksi. Teknologi ini banyak memicu pengembangan dalam revolusi informasi.

         ilmuwan telah mengetahui bahwa tidak hanya alat elektronik, namun juga alat mekanis, bisa diminiaturisasi dan diberi tanda fabrikasi, memberikan harapan kepada dunia mekanika seperti yang telah diberikan teknologi sirkuit terintegrasi kepada dunia elektronik. Sementara elektronik menyediakan 'otak' untuk produk dan sistem terbaru, alat mikromekanik dapat menyediakan sensor dan aktuator  mata dan telinga, tangan dan kaki.

        Saat ini, alat mikromekanik yang ada komponen kunci berbagai inovasi produk seperti airbag, ink-jet printer, pemantau tekanan darah, dan sebagainya. Terlihat bahwa alat mikromekanik akan mudah menyebar sama seperti elektronik.

        Semua negara berkembang seakan berlomba mengeluarkan teknologi terbaru hasil buatan mereka, negara yang paling sering mengeluarkan teknologi buatan mereka adalah Jepang, Amerika, dan Rusia. Jepang adalah negara yang paling aktif dalam masalah teknologi, bahkan hampir setiap tahun mereka selalu mengeluarkan teknologi terbaru buatan mereka. Negara-negara maju sekarang ini mulai menggunakan Mikroteknologi dan Nanoteknologi dalam setiap teknologi baru mereka.

         Mikroteknologi adalah suatu teknologi yang ukurannya mendekati skala satu mikro. Pada awalnya mikroteknologi digunakan pada sebuah chip yang didalamnya terdapat sirkuit mikroelektronik yang bisa meningkatkan fungsi dan performanya. Bahkan karena bentuknya yang kecil, mikroteknologi tidak memerlukan tempat yang besar. Dalam industri sendiri, mikroteknologi juga bisa mengurangi biaya dan meningkatkan volume produksi.Bahkan bisa dikatakan mikroteknologi ini merupakan awal dari pengembangan teknologi  yang memicu para ilmuwan untuk membuat teknologi yang lebih canggih dan lebih kecil dari mikroteknologi. Seiring berjalannya waktu, para ilmuwan akhirnya berhasil membuat sebuah teknologi yang lebih kecil dari mikroteknologi yaitu nanoteknologi.

Sistem mikro elektromekanikal

        Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori, seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda dibandingkan dengan pembuatan akseleromter untuk navigasi internal. Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi, juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.

        Teknologi MEMS telah menghasilkan sesuatu yang menakjubkan terkait fungsinya yang luas dalam bidang aplikasi yang cukup penting ketika bahkan MEMS tidak bisa menunjukkan performa dan kemampuan standar. Namun, di zaman ketika segalanya harus berukuran lebih kecil, lebih cepat, dan lebih murah, MEMS menyediakan solusi yang mendesak. MEMS telah memiliki dampak yang cukup mendalam pada aplikasi tertentu seperti sensor otomotif dan printer inkjet. Industri MEMS yang sedang berkembang adalah pasar bernilai miliaran dolar. Diperkirakan akan tumbuh dengan cepat dan akan menjadi industri utama di abad ke 21. Mikroteknologi terkadang dirakit menggunakan fotolitografi.

        Gelombang cahaya difokuskan melalui suatu pelindung menuju ke permukaan. Gelombang cahaya akan memadatkan lapisan kimia. Bagian dari lapisan yang lembut dan tidak terekspos akan terbasuh, lalu asam akan membentuk bagian yang tidak terlindungi. Mikroteknologi yang paling terkenal dan sukses adalah sirkuit terintegrasi. Benda ini juga telah digunakan untuk Benda-benda membuat pemesinsn mikro.